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产品资料
洁净环境使用的离子棒
产品型号:5635 (M)
产品厂商:
简介:

Simco-Ion Aerobar 5635 MP 离子棒能提供快速静电消散,低残余电压摆幅,和精准的离子平衡,是设计用于有严格要求的超高洁净半导体或有同类的制程环境。它采用 MP 技术 - 把高频正旋周波和调制脉冲结合 - 产生高输出量的离子和把它们推送至目标表面,这突破的技术使 5635MP 离子棒能安装在晶圆的 15 cm 距离内。同时配合超高洁净的静电针和**的参数调整,使它达到超越 ISO Class 1 洁净水平的 “Extended ISO Class 1”洁净度,适合更微小的先进技术制程。选配的吹气辅助功能,在洁净要求不高的环境,能加快离子的推送,得到更快的消散时间和有更远的工作距离。 Aerobar 5635 MP 离子棒的 MP 技术能容易设置和微调参数 - 输出电压,脉冲频率,正负平衡,以符合不同环境和产品对静电的敏感要求。在棒长短于 60 cm 时,静电针的间距

产品参数

         产品型号

         5635 (M)

         工作电压

         24 VDC ±10%

         输出电压

         13.5kV p-p (max),可调

         工作距离

         由15cm至100cm,根据应用需求或客户规格决定

         脉冲定频

         由1Hz至33Hz,可调,默认设定-5 Hz

         平衡电压

         自动平衡系统,在可控环境下,整根棒能长期保持在 <±20V @61 cm 工作距离。

         电离技术

         调制脉冲 (MP) 技术

         静电针材质

         单晶硅

         风嘴间距

         可选 50 mm 或 75 mm;棒长 450 mm 和 600 mm 只可选 50 mm

         工作效能

         15 秒 (典型),Vp-p 摆幅 - 80 Vp-p @ (没有吹气辅助,在棒中下面 61 cm 工作距离)

         符合洁净度

         兼容 ISO 14644-12 (0.01 mm 或纳米等级微粒) 和 ISO 14644-
         1 Class 1 (0.1 mm 微粒) 的洁净度 (输出功率:45-50%)

         供气要求

         CDA (清洁干燥压缩空气) 或 氮气

         气压要求

         45 psi (*大);由选配的8mm外径快速接口接入,每个风嘴输出1-3.5litre/min的风量

         臭氧产生

         <0.05 ppm


         EMI 

          低于背景水平

         操作环境

         15-35℃,30-60% RH,无冷凝

         设      定

           DIP 开关设定电源输入选择,有可调电位器微调操作参数 - 正负平
        衡,工作频率,功率输出,也可以序列埠输出连接电脑软件作调整

         封     装

        ABS chassis, 棒上不锈钢长条作回馈

         体     积

           78H x 34W x 450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350L mm

         型号5601电源分配盒

        输入电压

        24 VDC 提供给一组 4 根棒,组内每个端口*多需要 0.7A 电流;总电流要求 5.6A

        通     

        以太网 (RJ-45) 接连电脑;个别离子棒的待机输入

        警报输出

        继电接点连地

        输出端口

        8个RJ-45 端口,每根棒接一个端口

       LED 显示

       电源 - 绿,通信 - 黄,警报 - 红,LAN 通信 - 蓝

       重       量

       0.42 kg

       体       

       3.1H x 16.0L x 9.2W cm








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